北京招標(biāo)采購網(wǎng):北航集成電路科學(xué)與工程學(xué)院激光共聚焦顯微鏡采購公告:1.(1)采購貨物有關(guān)信息設(shè)備或材料名稱:激光共聚焦顯微鏡參數(shù):(1)放大倍率110X-17280X倍率觀察X/Y分辨率不大于0.12μm,Z軸顯示分辨率不大于0.5nm,內(nèi)置光學(xué)變倍系統(tǒng):1-8倍;(2)光源雙光路雙光源設(shè)計,具有激光以及LED光源激光光源:不高于405nm半導(dǎo)體激光,安全等級CLASS2,功.." />

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北航集成電路科學(xué)與工程學(xué)院激光共聚焦顯微鏡采購公告

所在地區(qū): 北京-海淀- 發(fā)布日期: 2024年9月18日
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招標(biāo)采購正文

1. (1)采購貨物有關(guān)信息

設(shè)備或材料名稱:(略)

參數(shù):(略)

(略)X-(略)X倍率觀察

X/Y分辨率不大于0.(略)μm,Z軸顯示分辨率不大于0.5nm,

內(nèi)置光學(xué)變倍系統(tǒng):(略)

(2)光源

雙光路雙光源設(shè)計,具有激光以及LED光源

激光光源:(略)

可見光光源:(略)

(3)激光掃描共聚焦系統(tǒng)

Z軸需采用控制物鏡轉(zhuǎn)盤掃描系統(tǒng),利用不大于0.8nm光柵尺控制,移動精度不大于(略)nm,Z軸最大掃描行程不小于(略)mm;

X軸采用獨特設(shè)計MEMS掃描器件

Y軸:(略)

(4)測量重復(fù)精度

1)XY方向:(略)

2)Z方向:(略)

(5)數(shù)據(jù)采集

激光光源:(略)

檢出系統(tǒng):(略)

白光:(略)

檢出系統(tǒng):(略)

該顯微鏡所設(shè)定的當(dāng)次掃描工作結(jié)束后,按照使用者預(yù)設(shè)定的目錄自動存儲默認格式的數(shù)據(jù)包(單視場約4M大。摂(shù)據(jù)可由改顯微鏡操作及分析軟件進行數(shù)據(jù)測量及分析,并可按照通用圖像格式導(dǎo)出保存圖像;

(6)載物臺

電動載物臺(X/Y):(略)

使用自動載物臺,可進行多視場三維圖像拼合掃描,而后合成同一數(shù)據(jù),拼圖最多不少于(略)張圖片,該數(shù)據(jù)同樣可進行數(shù)據(jù)測量,分析

(7)軟件功能

1)可手動/自動設(shè)定掃描范圍,實時3D圖像觀察,三維角度任意方向旋轉(zhuǎn)、放大,三維圖像實時剖面分析等

2)亞微米級的線寬,面積,體積,臺階,線與面粗糙度,透明膜厚,幾何參數(shù)等測量數(shù)據(jù)。

3)三維圖像的光線調(diào)整,光照效果、品質(zhì)及強度調(diào)解,網(wǎng)格、等高線、真實表面等顯示方法,兩維圖像的反差、亮度調(diào)解等功能;

4)簡單分析:(略)

5)智能判別功能:(略)

6)“一鍵”拍攝功能,只一個按鍵即可自動設(shè)置光強和掃描上下限,拍攝照片

(8)物鏡參數(shù)

其中5X,(略)X,(略)×,(略)×,(略)×需為特制激光共聚焦專用復(fù)消色差物鏡,并帶有專用物鏡標(biāo)識。

5×物鏡數(shù)值孔徑≥0.(略), 工作距離≥(略)mm

(略)×物鏡數(shù)值孔徑≥0.3, 工作距離≥(略).4mm

(略)×物鏡數(shù)值孔徑≥0.6, 工作距離≥1mm

(略)×物鏡數(shù)值孔徑≥0.6,工作距離≥5mm

(略)×物鏡數(shù)值孔徑≥0.(略),工作距離≥0.(略)mm

(9)物鏡轉(zhuǎn)盤

6孔電動控制物鏡轉(zhuǎn)換器,物鏡可同時安裝使用;物鏡切換時能自動調(diào)整高度; 物鏡切換時保持自動聚焦;

((略))需帶出廠測量報告或者第三方檢測報告等;

數(shù)量:(略)

交貨期:(略)

交貨地點:(略)

是否接受進口產(chǎn)品:(略)

2、采購預(yù)算(最高限價):(略)

3、參選單位資格要求:

(1)在中華人民共和國境內(nèi)注冊、響應(yīng)招標(biāo)、參加響應(yīng)競爭的法人、其他組織或者自然人;

(2)響應(yīng)人(供應(yīng)商)應(yīng)具備《中華人民共和國政府采購法》第二十二條規(guī)定;

① 具有獨立承擔(dān)民事責(zé)任的能力;

② 具有良好的商業(yè)信譽和健全的財務(wù)會計制度;

③ 具有履行合同所必需的設(shè)備和專業(yè)技術(shù)能力;

④ 有依法繳納稅收和社會保障資金的良好記錄;

⑤ 參加政府采購活動前三年內(nèi),在經(jīng)營活動中沒有重大違法記錄;

⑥ 法律、行政法規(guī)規(guī)定的其他條件。

(3)本項目不接受聯(lián)合體響應(yīng);

(4)本項目不允許轉(zhuǎn)包、分包;

(5)近三年內(nèi),本項目響應(yīng)截止期前,被“信用中國”網(wǎng)站列入失信被執(zhí)行人和重大稅收違法案件當(dāng)事人名單的、被“中國政府采購網(wǎng)”網(wǎng)站列入政府采購嚴重違法失信行為記錄名單(處罰期限尚未屆滿的),不得參與本項目;

(6)法律、行政法規(guī)關(guān)于“合格響應(yīng)人”的其他條件。

4、報名方式及截止時間:

報名方式:(略)bhsme@buaa.edu.cn。

郵件標(biāo)題:(略)

郵件內(nèi)容:(略)

附件:(略)

截止報名時間:(略)

5、競價會時間及方式:

時間:(略)

6、參加競價會所需提供材料:

9月(略)日前,參選供應(yīng)商需將正式書面報價單和報名資料(均需加蓋單位公章,報價單請單獨密封)郵寄至以下地址:

地址:(略)

雷老師收,電話:(略)

7、采購項目經(jīng)辦人聯(lián)系方式(采購項目咨詢):

雷老師,郵箱:(略)

8、學(xué)院采購工作領(lǐng)導(dǎo)小組辦公室聯(lián)系方式(異議或投訴):

邵老師,bhsme@buaa.edu.cn或(略)-(略)(上午9點-(略):(略)

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