北航集成電路科學(xué)與工程學(xué)院激光共聚焦顯微鏡采購公告
所在地區(qū): | 北京-海淀- | 發(fā)布日期: | 2024年9月18日 |
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1. (1)采購貨物有關(guān)信息
設(shè)備或材料名稱:(略)
參數(shù):(略)
(略)X-(略)X倍率觀察
X/Y分辨率不大于0.(略)μm,Z軸顯示分辨率不大于0.5nm,
內(nèi)置光學(xué)變倍系統(tǒng):(略)
(2)光源
雙光路雙光源設(shè)計,具有激光以及LED光源
激光光源:(略)
可見光光源:(略)
(3)激光掃描共聚焦系統(tǒng)
Z軸需采用控制物鏡轉(zhuǎn)盤掃描系統(tǒng),利用不大于0.8nm光柵尺控制,移動精度不大于(略)nm,Z軸最大掃描行程不小于(略)mm;
X軸采用獨特設(shè)計MEMS掃描器件
Y軸:(略)
(4)測量重復(fù)精度
1)XY方向:(略)
2)Z方向:(略)
(5)數(shù)據(jù)采集
激光光源:(略)
檢出系統(tǒng):(略)
白光:(略)
檢出系統(tǒng):(略)
該顯微鏡所設(shè)定的當(dāng)次掃描工作結(jié)束后,按照使用者預(yù)設(shè)定的目錄自動存儲默認格式的數(shù)據(jù)包(單視場約4M大。摂(shù)據(jù)可由改顯微鏡操作及分析軟件進行數(shù)據(jù)測量及分析,并可按照通用圖像格式導(dǎo)出保存圖像;
(6)載物臺
電動載物臺(X/Y):(略)
使用自動載物臺,可進行多視場三維圖像拼合掃描,而后合成同一數(shù)據(jù),拼圖最多不少于(略)張圖片,該數(shù)據(jù)同樣可進行數(shù)據(jù)測量,分析
(7)軟件功能
1)可手動/自動設(shè)定掃描范圍,實時3D圖像觀察,三維角度任意方向旋轉(zhuǎn)、放大,三維圖像實時剖面分析等
2)亞微米級的線寬,面積,體積,臺階,線與面粗糙度,透明膜厚,幾何參數(shù)等測量數(shù)據(jù)。
3)三維圖像的光線調(diào)整,光照效果、品質(zhì)及強度調(diào)解,網(wǎng)格、等高線、真實表面等顯示方法,兩維圖像的反差、亮度調(diào)解等功能;
4)簡單分析:(略)
5)智能判別功能:(略)
6)“一鍵”拍攝功能,只一個按鍵即可自動設(shè)置光強和掃描上下限,拍攝照片
(8)物鏡參數(shù)
其中5X,(略)X,(略)×,(略)×,(略)×需為特制激光共聚焦專用復(fù)消色差物鏡,并帶有專用物鏡標(biāo)識。
5×物鏡數(shù)值孔徑≥0.(略), 工作距離≥(略)mm
(略)×物鏡數(shù)值孔徑≥0.3, 工作距離≥(略).4mm
(略)×物鏡數(shù)值孔徑≥0.6, 工作距離≥1mm
(略)×物鏡數(shù)值孔徑≥0.6,工作距離≥5mm
(略)×物鏡數(shù)值孔徑≥0.(略),工作距離≥0.(略)mm
(9)物鏡轉(zhuǎn)盤
6孔電動控制物鏡轉(zhuǎn)換器,物鏡可同時安裝使用;物鏡切換時能自動調(diào)整高度; 物鏡切換時保持自動聚焦;
((略))需帶出廠測量報告或者第三方檢測報告等;
數(shù)量:(略)
交貨期:(略)
交貨地點:(略)
是否接受進口產(chǎn)品:(略)
2、采購預(yù)算(最高限價):(略)
3、參選單位資格要求:
(1)在中華人民共和國境內(nèi)注冊、響應(yīng)招標(biāo)、參加響應(yīng)競爭的法人、其他組織或者自然人;
(2)響應(yīng)人(供應(yīng)商)應(yīng)具備《中華人民共和國政府采購法》第二十二條規(guī)定;
① 具有獨立承擔(dān)民事責(zé)任的能力;
② 具有良好的商業(yè)信譽和健全的財務(wù)會計制度;
③ 具有履行合同所必需的設(shè)備和專業(yè)技術(shù)能力;
④ 有依法繳納稅收和社會保障資金的良好記錄;
⑤ 參加政府采購活動前三年內(nèi),在經(jīng)營活動中沒有重大違法記錄;
⑥ 法律、行政法規(guī)規(guī)定的其他條件。
(3)本項目不接受聯(lián)合體響應(yīng);
(4)本項目不允許轉(zhuǎn)包、分包;
(5)近三年內(nèi),本項目響應(yīng)截止期前,被“信用中國”網(wǎng)站列入失信被執(zhí)行人和重大稅收違法案件當(dāng)事人名單的、被“中國政府采購網(wǎng)”網(wǎng)站列入政府采購嚴重違法失信行為記錄名單(處罰期限尚未屆滿的),不得參與本項目;
(6)法律、行政法規(guī)關(guān)于“合格響應(yīng)人”的其他條件。
4、報名方式及截止時間:
報名方式:(略)bhsme@buaa.edu.cn。
郵件標(biāo)題:(略)
郵件內(nèi)容:(略)
附件:(略)
截止報名時間:(略)
5、競價會時間及方式:
時間:(略)
6、參加競價會所需提供材料:
9月(略)日前,參選供應(yīng)商需將正式書面報價單和報名資料(均需加蓋單位公章,報價單請單獨密封)郵寄至以下地址:
地址:(略)
雷老師收,電話:(略)
7、采購項目經(jīng)辦人聯(lián)系方式(采購項目咨詢):
雷老師,郵箱:(略)
8、學(xué)院采購工作領(lǐng)導(dǎo)小組辦公室聯(lián)系方式(異議或投訴):
邵老師,bhsme@buaa.edu.cn或(略)-(略)(上午9點-(略):(略)
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